




特種氣體系統(tǒng):
主管路系統(tǒng)的設計
對于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精1確控制流量,在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計,壓力調節(jié)閥。對于劇1毒、高反應性和自燃氣體,應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區(qū)設計,即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點,要點對點,特種氣體生產廠,中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此,整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,重慶特種氣體,中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。


特種氣體管道的施工
主要的施工機具
特種氣體管道的主要施工機具有:全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機(GF鋸)、管子割刀、平口機、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮1刀、有的需要配置電源穩(wěn)壓器、防止施工現(xiàn)場電流波動對焊接質量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、手工ya弧焊機、其他輔助工具。


特種氣體系統(tǒng):
氣體房的選擇和設計
除了簡單的供氣系統(tǒng)以外,特種氣體廠家哪家好,特氣房一般都獨立于主場房而單獨建設,其規(guī)劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等。常規(guī)供氣系統(tǒng)一般也采用多種氣瓶柜共設在一個氣體室;而對于大宗特氣,會根據(jù)氣體特性和相容性將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅1烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風,氣體房的選擇和設計一般由設計院完成。


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